เตตราเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH)

Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH) เป็นสารประกอบแอมโมเนียมควอเทอร์นารีที่มีหมายเลข CAS 75-59-2 ในฐานะสารอัลคาไลน์ที่ปราศจากโลหะไอออน TMAH ทำหน้าที่ทดแทนเบสอนินทรีย์ เช่น KOH หรือ NaOH ในกระบวนการที่ต้องการความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษได้อย่างมีประสิทธิภาพ

Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH) ซึ่งเป็นฐานอินทรีย์ที่ทรงพลังที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการถ่ายภาพด้วยแสง การแกะสลัก และกระบวนการทำความสะอาด

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

TEMS	ข้อมูลจำเพาะ
รูปร่าง	ของเหลวใสไม่มีสี
การทดสอบ	สารละลายน้ำ 25%

บรรจุภัณฑ์และการจัดเก็บ

• น้ำหนักสุทธิ 200 กก. ถังหรือ 1,000 กก. IBC ถัง

• เก็บในภาชนะที่ปิดสนิท ป้องกันแสง

ประโยชน์หลักของเตตระเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH)

ปราศจากโลหะไอออน:

ป้องกันการปนเปื้อนของไอออนิกในเวเฟอร์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีความละเอียดอ่อน

คุณสมบัติอัลคาไลน์ที่แข็งแกร่ง:

ดีเยี่ยมสำหรับการกัดแบบแอนไอโซทรอปิกของซิลิคอนและการพัฒนาสารต้านทานแสงที่เป็นกรด

หัวกะทิสูง:

ให้อัตราการกัดแบบควบคุมโดยมีการตัดส่วนล่างน้อยที่สุดในการผลิตแบบไมโคร

สูตรอเนกประสงค์:

เข้ากันได้กับความเข้มข้นและตัวทำละลายต่างๆ สำหรับนักพัฒนาเฉพาะบุคคล การกัดกรด หรือสารละลายทำความสะอาด

การทำความสะอาดและการปอกที่มีประสิทธิภาพ:

ขจัดสารตกค้างจากไวแสงได้อย่างมีประสิทธิภาพในขณะที่ยังคงรักษาความสมบูรณ์ของพื้นผิว

การใช้งานหลัก เตตระเมทิลแอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ (TMAH)

TMAH มีความสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่และอื่นๆ อีกมากมาย:

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

• นักพัฒนาโฟโตรีซิสต์: มาตรฐานในความเข้มข้นของโฟโตลิโทกราฟีเพื่อละลายโฟโตรีซิสต์ที่สัมผัส

• Anisotropic Silicon Etchant: ใช้สำหรับการสร้างลวดลายเวเฟอร์ซิลิคอนที่แม่นยำใน MEMS และวงจรรวม

• เครื่องลอกแบบโฟโตรีซิสต์และน้ำยาทำความสะอาดหลังกัดกรด: ขจัดสิ่งตกค้างโดยไม่มีการปนเปื้อนของโลหะ

• จอแบน PCB และเซ็นเซอร์: มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตแผง LCD/OLED และแผงวงจรพิมพ์

การใช้ในอุตสาหกรรมอื่น ๆ

• ตัวเร่งปฏิกิริยาการถ่ายโอนเฟสในการสังเคราะห์สารอินทรีย์

• สารลดแรงตึงผิวในการผลิตเฟอร์โรฟลูอิดและความคงตัวของอนุภาคนาโน

• ส่วนประกอบในการกำหนดสูตรในโพลีเมอร์ อิเล็กโทรไลต์ ซีโอไลต์ และการใช้งานกักเก็บพลังงาน

• การทำความสะอาดด้วยความร้อนและไมโครอาร์เรย์ DNA ในการตั้งค่าการวิจัย

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

ถาม: TMAH ปลอดภัยสำหรับการใช้งานหรือไม่

ตอบ: ไม่ TMAH มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและเป็นพิษเฉียบพลัน จะต้องได้รับการจัดการด้วยความระมัดระวังอย่างยิ่งโดยใช้อุปกรณ์ป้องกันส่วนบุคคลเต็มรูปแบบและการควบคุมทางวิศวกรรมที่เหมาะสม การสัมผัสทางผิวหนังใดๆ ต้องได้รับการดูแลจากแพทย์ทันที

ถาม: เหตุใด TMAH จึงเลือกใช้ KOH หรือ NaOH ในเซมิคอนดักเตอร์มากกว่า

ตอบ: TMAH ปราศจากโลหะไอออน ป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์และอุปกรณ์ ในขณะเดียวกันก็ให้ประสิทธิภาพการกัดและพัฒนาที่ยอดเยี่ยม

ถาม: อันตรายหลักของ TMAH คืออะไร?

ตอบ: ทำให้เกิดการเผาไหม้ของสารเคมีอย่างรุนแรงต่อผิวหนังและดวงตา และอาจนำไปสู่ความเป็นพิษต่อระบบผ่านการดูดซึมทางผิวหนัง ยังเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมอีกด้วย

ถาม: TMAH ควรจัดเก็บอย่างไร?

ตอบ: เก็บในภาชนะที่ปิดสนิทในบริเวณที่เย็น แห้ง และมีอากาศถ่ายเทสะดวก ห่างจากกรด สารออกซิไดเซอร์ และอากาศ

ถาม: TMAH สามารถใช้กับอาหารหรือยาได้หรือไม่?

ตอบ: ไม่ TMAH มีไว้สำหรับใช้ในอุตสาหกรรม ห้องปฏิบัติการ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เท่านั้น และไม่เหมาะสำหรับการใช้งานด้านอาหาร ยา หรือเครื่องสำอาง

ติดต่อเรา

สำหรับ COA, TDS, SDS หรือผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง โปรดติดต่อเราที่:

อีเมล: mandy@aozunchem.com

WhatsApp:  +86- 18452425579

ใบรับรองความถูกต้อง