製品説明
ヘキサメチルジシロキサンは、CAS No. 107-46-0 で識別される揮発性の低粘度有機シリコン液体です。これは酸素原子で結合された 2 つのトリメチルシリル基からなり、一般に MM または HMDSO と略されます。
低粘度、揮発性、疎水性、トリメチルシロキシ官能基の組み合わせにより、シリコン原料、PDMS エンドブロッカー、特殊プロセス流体、およびプラズマ蒸着有機シリコンまたは酸化シリコン様コーティングの前駆体として有用です。
AOZUN は、産業用途、シリコーン製造、表面処理、認定電子材料プロセス向けにヘキサメチルジシロキサンを供給しています。利用可能な仕様は、現在の技術データシートおよびバッチ分析証明書と照合して確認する必要があります。
ヘキサメチルジシロキサンはに分類されます 有機ケイ素化合物.
その分子構造にはシリコンとシロキサン結合が含まれていますが、シリコンに結合したメチル基も 6 つ含まれています。したがって、商業的には、無機ケイ素化合物ではなく、有機および有機ケイ素特殊化学薬品として分類されています。
推奨される製品カテゴリは次のとおりです。
有機ケイ素化学品
特殊化学品
ファインケミカル
シリコーン原料
有機ケイ素中間体
電子材料前駆体
ヘキサメチルジシロキサンはの両方に分類できます。 特殊ファインケミカル と 有機シリコン中間体、その用途に応じて、
シリコーン製造においては、原料または末端封鎖中間体として機能します。プラズマ コーティングや半導体関連プロセスでは、高純度の HMDSO が特殊な前駆体として機能します。揮発性プロセス流体として使用される場合、通常は特殊有機ケイ素化学物質として扱われます。
Web サイトのナビゲーションの場合、最も正確なプライマリ カテゴリは次のとおりです。
ファインケミカル → 有機ケイ素中間体
ヘキサメチルジシロキサンは、正しくはと省略されます MM または HMDSO。 「HMDS」という略語は、別の化学物質であるヘキサメチルジシラザンに対してよく使用されます。
アイテム |
ヘキサメチルジシロキサン |
ヘキサメチルジシラザン |
|---|---|---|
推奨される略語 |
MMまたはHMDSO |
HMDS または HMDZ |
CAS番号 |
107-46-0 |
999-97-3 |
分子式 |
C6H18OSi2 |
C6H19NSi2 |
中央リンケージ |
Si-O-Si |
Si-NH-Si |
共通の役割 |
シリコーンエンドブロッカーとプラズマ前駆体 |
シリル化剤およびフォトレジスト接着促進剤 |
交換可能 |
いいえ |
いいえ |
バイヤーは見積を依頼する際に必ず CAS 番号と分子式を確認する必要があります。 「HMDS」のみを使用すると、間違った化学物質の問い合わせが発生する可能性があります。
財産 |
識別 |
製品名 |
ヘキサメチルジシロキサン |
推奨される略語 |
MM、HMDSO |
CAS番号 |
107-46-0 |
EC番号 |
203-492-7 |
分子式 |
C6H18OSi2 |
構造式 |
(CH3)3Si-O-Si(CH3)3 |
分子量 |
162.38 g/mol |
外観 |
無色透明の液体 |
臭い |
穏やかな特有の臭気、またはほぼ無臭 |
沸点 |
約100~101℃ |
密度 |
約0.76g/cm³ |
粘度 |
約 0.5 ~ 0.65 mPa・s または cSt (試験条件に応じて) |
水溶性 |
非常に低い。一般に不溶性と言われている |
引火点 |
試験方法に応じて、約 -6 ~ -1 °C |
化学ファミリー |
有機ケイ素化合物 |
輸送分類 |
可燃性液体 |
上記の値は代表的な参考データであり、バッチ仕様として扱うべきではありません。購入者は、現在の COA、TDS、および SDS を受け入れおよび取り扱いの決定に使用する必要があります。
次の表は、典型的な産業グレードの仕様フレームワークを示しています。
試験項目 |
代表的な仕様 |
外観 |
無色透明の液体 |
アッセイ |
≧99.0% |
色 |
≤10 APHA/ヘイゼン |
20℃における比重 |
0.762~0.770 |
屈折率 |
1.375~1.379 |
水分含有量 |
グレードによる |
塩化物またはイオン性不純物 |
グレードによる |
金属不純物 |
グレードによる |
不揮発性残留物 |
リクエストに応じて、またはグレードに応じて利用可能 |
電子および半導体の用途では、水、金属、塩化物、粒子、不揮発性残留物に対して大幅に厳しい制限が必要になる場合があります。これらの制限は、一般的な分析から推測するのではなく、購入仕様書で定義する必要があります。
99% の分析結果は、その製品が電子処理に適していることを自動的に意味するものではありません。微量汚染プロファイルは、堆積やウェーハ関連のアプリケーションでは全体的な分析よりも重要な場合があります。
HMDSO には、シロキサン酸素を介して結合された 2 つのトリメチルシリル基が含まれています。この緻密な構造により、材料に低粘度と揮発性が与えられ、トリメチルシロキシ官能基の供給源または有機シリコン蒸気前駆体として機能することが可能になります。
その役割はプロセスによって異なります。シリコーンポリマーの製造において、平衡化に関与し、末端基を制御することができます。プラズマまたは蒸着システムでは、その蒸気が活性化され、有機シリコンまたは酸化シリコンのような薄い膜に変換されます。
ヘキサメチルジシロキサンは、ポリジメチルシロキサン流体の製造中にトリメチルシロキシ末端基を提供できます。
適切なシリコーン平衡化プロセスの下では、これらの末端基は鎖の成長を制限し、得られるポリマーの分子量と粘度に影響を与えるのに役立ちます。必要な HMDSO 比は、ポリマー系、触媒、出発シロキサン、および目標粘度によって異なります。
したがって、この製品はとして説明されるべきです。 PDMS 末端ブロッカーまたはメチル末端原料、汎用シリコーン触媒としてではなく、
HMDSO 蒸気は、プラズマ化学蒸着および関連コーティング システムに導入できます。プラズマ活性化により分子が断片化され、適切な基板上に有機シリコン膜が形成されるようになります。
フィルムの特性は、装置、酸素比、エネルギー入力、圧力、基板、その他のプロセス条件によって異なります。システムに応じて、堆積された層は比較的有機的で疎水性であるか、よりシリカ状である場合があります。
潜在的な用途には次のようなものがあります。
疎水性薄膜
有機シリコン保護コーティング
酸化シリコン様バリア層
表面エネルギーの修飾
プラズマ重合機能性コーティング
半導体および電子材料の堆積プロセス
HMDSO を HMDS フォトレジスト プライマーと混同しないでください。 HMDSO は蒸着前駆体として一般的に使用されますが、HMDS はフォトレジストの接着促進によく関連する材料です。
HMDSO は、粘度、表面張力、揮発性が低いため、迅速な拡散とその後の蒸発が必要な特定の特殊プロセスで役立ちます。
使用前に、適合性、残留レベル、排出規制、および適用される規制を評価する必要があります。従来の溶媒、環状シロキサン、または低粘度の PDMS 流体の直接の代替品として自動的に扱うべきではありません。
HMDSO は、選択されたシリコーンポリマープロセスにおける末端ブロックまたは連鎖停止原料として使用されます。 PDMS タイプの流体の末端構造と分子量分布の制御に役立ちます。
一般的な購入の優先順位には次のようなものがあります。
アッセイ
水分含有量
色
屈折率
不揮発性残留物
バッチ間の一貫性
HMDSO は、プラズマ重合コーティングの有機シリコン前駆体として機能します。これらのコーティングは、ガラス、金属、ポリマー、およびその他の互換性のある基材に適用できます。
考えられる目的には、表面エネルギーの低減、撥水性の向上、薄い機能性バリアの作成などが含まれます。最終的なパフォーマンスは、蒸着プロセスと基板の準備によって決まります。
高純度の HMDSO グレードは、化学蒸着、プラズマ蒸着、およびスピンオン誘電体関連のプロセスで使用できます。
電子アプリケーションでは、次の制御が必要になる場合があります。
微量金属
塩化物およびイオン汚染
水分含有量
粒子
不揮発性残留物
包装の清潔さ
バッチ間の一貫性
不純物プロファイルとパッケージングシステムが特別に認定されていない限り、一般的な工業用グレードを電子グレードとして表示すべきではありません。
HMDSO は、有機シリコン表面改質の研究および工業プロセスで使用される可能性があります。アプリケーションは、基材、コーティング装置、および必要な耐久性について検証する必要があります。
その疎水性は、液体 HMDSO を表面に拭き取るだけで永久的なコーティングが形成されることを意味するものではありません。耐久性のあるフィルムには、通常、制御された堆積、反応、または配合プロセスが必要です。
HMDSO は、互換性のあるシステムで低粘度の特殊プロセス流体として機能する場合があります。使用前に、購入者は以下を評価する必要があります。
支払い能力
エラストマーとシールの互換性
引火点の要件
回復または換気システム
残留制限
環境上の制限
地域のVOCルール
研究所では、有機シリコン化学、プラズマ科学、薄膜研究、材料表面研究に HMDSO を使用しています。
シリル化または GC サンプル誘導体化に一般的に使用される HMDS 試薬と同等であると記載すべきではありません。これらの方法は一般に、ヘキサメチルジシロキサンではなく、ヘキサメチルジシラザンを指します。
次のような要件がある場合は、HMDSO を選択してください。
CAS No. 107-46-0
Si-O-Si構造
シリコーン末端ブロック
PDMS分子量制御
プラズマ重合有機ケイ素膜
CVDまたは薄膜堆積前駆体
揮発性シロキサンプロセス流体
次のような要件がある場合は、HMDS を選択してください。
CAS No. 999-97-3
Si-NH-Si構造
フォトレジストの密着促進
表面シラン化
化学的シリル化
研究室での誘導体化
活性水素基のトリメチルシリル誘導体への変換
2 つの製品は、構造、反応性、安全性文書、商業用途が異なります。技術的な検証なしにこれらを置き換えるべきではありません。
製品タイプ |
構造 |
典型的な商業的役割 |
HMDSO/MM |
離散線状ジシロキサン分子 |
エンドブロッカー、前駆体および揮発性特殊流体 |
D4 または D5 |
環状シロキサン |
シリコーン中間体または配合液、地域制限の対象 |
低粘度PDMS |
直鎖状シリコーンオリゴマーまたはポリマー混合物 |
潤滑液、展着液、または配合液 |
HMDS |
含窒素ジシラザン |
シリル化試薬および接着促進剤 |
これらの材料は、一部の配合では同様の取り扱い特性を持つ場合がありますが、化学的に同等ではありません。
注文書には次のように記載する必要があります。
ヘキサメチルジシロキサン
MMまたはHMDSO
CAS No. 107-46-0
必須グレード
必要なテスト方法
これにより、ヘキサメチルジシラザンとの混同が防止されます。
一般的なシリコーン製造では標準工業グレードが受け入れられる場合がありますが、電子および蒸着用途では、詳細な微量不純物制限を備えた高純度の製品が必要となる場合があります。
アッセイのみを使用してグレードを選択しないでください。
プロセスによっては、重要な値には次のものが含まれる場合があります。
水
塩化
金属
色
不揮発性残留物
高沸点不純物
関連するシロキサン
粒子
どの品目が定期的に検査され、どの品目がカスタム分析契約を必要とするかをサプライヤーに尋ねてください。
HMDSO は揮発性で可燃性が高いため、パッケージは適切に密閉され、製品に適合し、関連する輸送モードで承認されている必要があります。
高純度の用途では、洗浄された包装、管理された充填、および文書化された容器材料も必要となる場合があります。
注文前に代表的な分析証明書を確認することは、サプライヤーの日常管理が購入者の受け入れ基準と一致しているかどうかを確認するのに役立ちます。
最終的な承認は、納品されたバッチの COA に基づく必要があります。
梱包オプションは、注文数量、目的地、等級、危険物の輸送要件によって異なります。
利用可能な供給形式には次のものがあります。
承認された金属ドラム
許可されている場合は適切な中間バルク包装
研究室またはサンプルサイズの容器
認定された高純度グレードの顧客合意済みパッケージ
正確な正味重量、コンテナの材質、パレットの構成、輸送方法は見積書でご確認ください。
化学的適合性、蒸気制御、および危険物の要件を最初に確認することなく、HMDSO を未承認のプラスチックまたは汎用の容器に移さないでください。
ヘキサメチルジシロキサンは、涼しく乾燥した換気の良い可燃性液体エリアに保管してください。
推奨される予防措置は次のとおりです。
容器はしっかりと閉めてください。
熱、火花、炎、高温の表面から遠ざけてください。
取扱いおよび保管場所での喫煙は禁止してください。
コンテナと受入装置を接地して接着します。
適切な防爆換気装置および電気機器を使用してください。
静電気の放電を防ぎます。
必要に応じて非火花工具を使用してください。
強力な酸化剤との接触を避けてください。
排水溝、土壌、地表水への放出を防止します。
現在のサプライヤーの SDS および現地の規制に従ってください。
HMDSO は通常、容易に加水分解するクロロシランとして扱われませんが、高純度の用途では、水分管理が製品の品質にとって重要な場合があります。
ヘキサメチルジシロキサンは引火性の高い液体および蒸気です。その蒸気は空気と可燃性混合物を形成し、発火源に到達する可能性があります。
サプライヤーの安全性データでは、この物質は長期にわたる影響を与える可能性があり、水生生物にとって有害であると分類されています。流出は、適切な非火花器具と互換性のある吸収材を使用して封じ込める必要があります。
作業者は、現場のリスク評価を通じて選択された換気装置と個人用保護具を使用する必要があります。安全メガネまたはゴーグル、適切な手袋、保護服が必要になる場合があります。
このページの情報は商用製品の概要であり、現在の SDS に代わるものではありません。
一般的な危険物の輸送情報には次のものが含まれます。
アイテム |
代表的な分類 |
国連番号 |
国連 1993 |
正しい配送先名 |
可燃性液体、禁止 |
技術名 |
ヘキサメチルジシロキサン |
危険等級 |
3 |
梱包グループ |
Ⅱ |
海洋汚染物質 |
IMDG分類に基づいて適用される可能性があります |
輸送分類は、現在の SDS、濃度、包装、仕向地および適用される ADR、IMDG、IATA、または現地の規制を使用して確認する必要があります。
資格のあるサプライヤーは、グレードと目的地に適した次のような書類を提供できる必要があります。
分析証明書
安全データシート
技術データシート
製品仕様
バッチおよびトレーサビリティ情報
梱包詳細
危険物輸送情報
規制または在庫に関する声明(利用可能な場合)
認定された高純度グレードの追加の不純物データ
プロセスで厳密に制御された不純物プロファイルが必要な場合、購入者は一般的な Web サイトの表に依存すべきではありません。
AOZUN は、工業用および特殊有機ケイ素化学品を求める国際的なバイヤーをサポートします。
当社の供給サービスには次のものが含まれます。
お見積り前の仕様確認
バッチ COA の利用可能性
産業およびアプリケーション固有のグレードに関するディスカッション
サンプル評価サポート
危険物梱包コーディネート
ドキュメントのエクスポート
柔軟な商用数量
シリコーンおよびコーティング用途に関する技術コミュニケーション
最終製品の適合性は、引き続き購入者の配合、プロセス試験、規制当局の審査、および品質承認の対象となります。
より正確な見積もりを受け取るには、次の情報を提供してください。
製品名とCAS番号
必要なアッセイまたはグレード
臨界不純物限界値
対象用途
必要数量
包装の好み
目的地の国と港
必要な配送スケジュール
必要書類
サンプル COA または代表的な COA が必要かどうか
電子用途の場合は、水、金属、塩化物、粒子、不揮発性残留物に対する必要な制限も指定します。
MM および HMDSO が推奨される略語です。 「HMDS」は一般的にヘキサメチルジシラザン、CAS No. 999-97-3 に使用されます。
CAS番号は 107-46-0です.
これは有機ケイ素化合物であり、商業的には一般に有機特殊化学品として分類されています。
両方ともあり得ます。これは、管理された技術的用途に供給される場合は特殊ファインケミカルであり、シリコーン製品の製造に使用される場合は有機シリコン中間体です。
いいえ、HMDSO はヘキサメチルジシロキサンであり、Si-O-Si 結合を含んでいます。 HMDS はヘキサメチルジシラザンであり、Si-NH-Si 結合を含んでいます。
HMDSO は、主に電子プロセスおよびプラズマ プロセスにおける有機シリコン堆積前駆体として使用されます。フォトレジスト接着促進剤として一般的に使用される材料は、HMDS (ヘキサメチルジシラザン) です。
HMDSO は、HMDS、TMCS、またはその他の反応性シリル化試薬の直接の代替品として提供されるべきではありません。反応性や用途が異なります。
HMDSO は水溶解度が非常に低いため、通常の水との接触では容易に加水分解するシランとしては一般に扱われません。ただし、高純度シリコンや電子用途では、水分制限が依然として重要な場合があります。
はい。引火点が室温以下の非常に引火性の高い液体です。点火制御、接地、接着、換気、および準拠した保管が必要です。
トリメチルシロキシ末端基を提供し、適切な PDMS 製造プロセスにおける鎖長、分子量、粘度の制御に役立ちます。
自動的ではありません。半導体プロセスでは、金属、水、塩化物、粒子、不揮発性残留物について、より厳密な管理が必要になる場合があります。グレードとパッケージは特定のプロセスに適合する必要があります。
適合性は、特定のグレード、配合、使用目的、および該当する地域の規制によって異なります。一般的な工業グレードは、食品、医薬品、または化粧品グレードであると想定すべきではありません。
ヘキサメチルジシロキサン (MM/HMDSO)、CAS No. 107-46-0 については、AOZUN にお問い合わせください。
ご希望の仕様、用途、数量、梱包形態、送り先などをご記入ください。当社は入手可能な製品ドキュメントを提供し、シリコーン製造、表面処理、または適格な電子材料用途に適したグレードについて話し合うことができます。